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兴福电子新建4万吨电子级硫酸产线品质取得新突破

  • 发表时间:2022/10/18
10月18日,湖北兴福电子材料股份有限公司获悉,该公司于今年二季度新投入试生产4万吨电子级硫酸产线,截止目前,该产线已基本达产达效。产出的电子级硫酸产品的关键指标Fe、Cr、Ni等金属离子小于5ppt,30nm颗粒度低于50pcs/mL,达到G5等级,品质达到国际先进水平,并且成功出货供应国内主流芯片企业。

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂,广泛应用于半导体、超大规模集成电路领域。高品质电子级硫酸制备的关键技术长期被美国、德国和日本等国家垄断,我国长期依赖进口,随着国内28nm及以下先进制程的量产,进一步加剧超高品质电子级硫酸短缺的局面,严重影响我国半导体产业健康发展。
兴福电子自2017年第一套电子级硫酸生产线建成以来,围绕电子级硫酸生产关键技术与应用领域,通过5年的工艺创新及技术攻关,已掌握超高纯电子级硫酸制备和微纳颗粒脱除等系列关键技术,可稳定生产供应G5等级的电子级硫酸产品。
据了解,此前,兴福电子已在国内率先实现28nm及以下先进制程用超高纯电子级硫酸批量生产,成功供应国内外知名半导体企业,打破了国际垄断。4万吨电子级硫酸产线正式投产后,兴福电子将拥有 6万吨/年电子级硫酸产能,成为目前国内产能规模最大的电子级硫酸生产企业。

此外,该公司还拥有电子级磷酸、功能性配方化学品等多品类湿电子化学品,其自主开发的电子级磷酸产品同样打破了国际垄断。据介绍,经过十余年的技术革新,目前公司电子级磷酸产品关键技术指标Fe等金属离子达到3ppb以内,并成功应用于国际先进的芯片产线。据初步估算,该公司电子级磷酸产品国内市场占有率超60%,并大量出口海外客户。与此同时,该公司的硅蚀刻液,金属蚀刻液、BOE蚀刻液、以及清洗液等功能性配方化学品,产品品质达到国内领先水平,并且稳定供应国内外知名芯片企业。近年来,该公司致力于打造国际一流的芯片用电子化学品产业基地,持续加强电子化学品 核心技术的开发升级和产业化应用,已成长为国内湿电子化学品行业头部企业。